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Come utilizzare un SEM Calibrazione Grigliaconduttivo cemento aria Conserve Micron righello Calculator Mostra Altre istruzioni 1 Mount campione griglia standard di calibrazione su un stub SEM utilizzando cemento conduttivo SEM - approvato . Lasciare che il cemento si asciughi . Utilizzare secco , aria compressa per rimuovere eventuali tracce visibili di polvere sulla superficie della griglia . Montare il stub su la fase di provino SEM . Posizionare la superficie del campione perpendicolare al fascio di elettroni . Seguire le specifiche del produttore per evacuare la camera del campione per ottenere un vuoto di lavoro soddisfacente . Disattiva tutte le correzioni automatiche per inclinazione e rotazione di scansione . Eventuali rotazioni necessarie durante la calibrazione devono essere eseguite manualmente . Selezionare le condizioni operative , compresa la distanza di lavoro , differenza di potenziale e la gamma di ingrandimento , per il quale è richiesta la calibrazione di ingrandimento . Mettere a fuoco l' immagine della griglia sul monitor SEM , e ruotare il campione in una posizione in cui le linee di griglia sono allineati con gli assi X e Y del monitor . Regolare il contrasto in modo che le linee della griglia sono chiaramente definiti . Registrare e stampare l'immagine , in modo che l'indicatore di ingrandimento è incluso nella stampa. Utilizzare un righello micron per misurare la distanza passo tra le linee della griglia adiacenti in X e Y direzioni sul stampa . Ripetere questa misura da tre a cinque volte in vari punti sull'immagine , e calcolare la distanza media tra le linee della griglia . Calcola l'ingrandimento corretta dividendo la distanza media misurata linea dalla specifica spaziatura standard di fornito dal produttore della griglia di calibrazione . Confrontare l'ingrandimento corretto per l'indicatore di ingrandimento che appare sul monitor per determinare l'errore nell'indicatore di ingrandimento . Altro nell'istruzione superiore
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